人工UVの発生源は、ルミネセンス(UV放電ランプ、固体発光―発光ダイオード)、レーザ発光などに大きく分類することができます。
UV放電ランプは、主に水銀、希ガス、金属ハロゲン化物などを封入物とし、その混合体の中での放電により、強く紫外線を放射する金属蒸気ランプです。

発光ダイオード(LED)は、半導体に電流を流すことによって発光する素子です。現在市販されているLEDには赤色、青色、緑色、白色とUV(365nm)があります。

レーザ(LASER)は、励起源により励起されたレーザ媒質からの種光が、2枚の鏡の間を何度も往復して増幅され、その増幅光の一部が出力鏡を透過し、外部に発振されます。その中でUV光を発振するUVレーザには、Nd:YAG媒質などからの基本波(1064nm)レーザを波長変換結晶に照射して得られるUV固体レーザ(355nm, 266nm, 213nmなど)、KrFやArFなどのエキシマ分子を放電励起することにより得られるエキシマレーザ(248nm, 193nm)などがあります。
