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計測4.紫外線の測定に対する

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ホーム技術コラム-光でできること- | 2006年06月

今、紫外線で何ができるか?
環境分野において殺菌に、半導体・液晶製造の分野においては
超清浄度の要求等、従来薬液処理で作業していた分野で、
紫外線(UV光)を利用したドライ処理に期待が掛けられています。
そうした光の可能性にお応えする『光でできること』を
オーク製作所の技術の一端からご紹介いたします。

計測4.紫外線の測定に対する

紫外線を測定する場合に、厳しい特性が要求されます。

特に、斜め入射光に対する特性は、さまざまな角度からの入射に対する補正ができないので、予め入射光を制御する必要があります。

さらに、入射光に対する出力の直線性は測定器として非常に重要な特性です。


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