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環境分野において殺菌に、半導体・液晶製造の分野においては
超清浄度の要求等、従来薬液処理で作業していた分野で、
紫外線（UV光）を利用したドライ処理に期待が掛けられています。
そうした光の可能性にお応えする『光でできること』を
オーク製作所の技術の一端からご紹介いたします。 |
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有機物を紫外線で分解することがお分かりいただけました。この有機物を分解する波長を特に効果的に発光するランプに、低圧水銀ランプがあります。さらに最近エキシマ・ランプも開発されました。
低圧水銀ランプは石英ガラスを放電容器として185nmと254nmの波長を発生するランプです。185ｎｍの波長は大気中の酸素を分解してオゾンも発生させますので、2重の洗浄効果が期待できます。
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紫外線が有機物を分解する機構はいわば『光の吸収によって起こる化学』です。（光化学 l；丸善株式会社刊行）
基底状態にある有機物分子に紫外線が照射されると、分子が励起（活性化する）してラジカルという励起状態になり、さらに分解、発光等に進行します。
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のプロセスで生成された励起酸素原子
とλ=185 nmのもつエネルギー（6.7 eV）より、分解除去することができます。