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製品情報

Contents
放電ランプ/光源ユニット
UV計測器
光応用装置
半導体製造用装置
UVイールド・イノベータ
液晶製造用装置
タイトラー付き周辺露光装置
周辺露光装置
2次元コードリーダ
非接触アライメント露光装置
ピンアライメント
電子回路基板製造用装置
ソルダーレジスト用自動露光装置
電子回路基板用自動露光装置
フォトエッチング用高精度自動露光装置
ステップ&リピート縦型投影露光装置
手動・半自動露光装置
ダイレクト露光関連製品
CAMステーション
ダイレクトイメージャ
ソルダ用ダイレクトイメージャ
フォトプロッタ
サポート&サービス
UV照射灯
UVコンベア
小型灯具シリーズ
UVドラィプロセッサ
超高圧ランプ搭載の光源
超高圧UVランプ/メタルハライドUVランプ搭載の光源
ホーム製品情報光応用装置 |高圧UVランプ/メタルハライドUVランプ搭載の光源

光応用装置


ステップ&リピート縦型投影露光装置


◆ 特 徴

1. システムに組み込む光源から、単独で基材の表面を乾燥、硬化及び洗浄等の処理をするための光源です。
2. 基材の形、処理方法に合わせて、高圧UVランプ、メタルハライドUVランプを選定し、効率の良いランプハウスと電源を含めた専用光源として、ご計画の設備に対応いたします。
3. 1kWから9.6kWまでの各種ランプを基本に、ご要望に応じてランプを開発いたします。



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