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| ワンパス光学系、低重心ダブルステージ構造を搭載し、最大基板サイズ６３５×５３５ｍｍにおいて
７０００枚／日生産可能 2011年 11月発売開始 |
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| 汎用レジストに対応したダイレクト露光装置 回路パターン用、ソルダ―レジスト用 |
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| ダイレクト露光装置DiIMPACTの基本性能は同じ、マニュアルモデルです。 | |||
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| ・ | フォトプロッタ LPP-3880 | |
| ・ | ダイレクト露光装置 DXP-3101 | |
| ・ | 全自動ダイレクト露光装置 DXP-3301 |
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