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当社は、ソルダーレジストの波長特性に適合した専用ランプを開発、ダイレクト露光装置に採用いたしました。これにより、ソルダーレジスト塗布基板へのパターン露光が最適化され、最終露光工程での量産化を高解像性をもって実現いたします。
また、新規開発のデータ補正機能＜D-A-Tアルゴリズム＞を搭載することで、製造工程で不規則に変形した基板に対して、リアルタイムにデータ補正し、前工程で製造した電子回路パターンに対してソルダーレジストのパターンを高精度に合わせることが可能となります。更に、当社が露光装置メーカとして永年にわたって培ってきたソルダーレジスト露光の装置ノウハウを結集、自動搬送機も標準装備した全自動量産モデルです。
本装置は、現行の汎用ソルダーレジストを継続使用することができますので、材料コストを抑制でき、また、１４４０枚／日*の量産を実現いたします。特に高難度な合わせ精度が要求されるパッケージ基板等に対しては、基板の変形具合に応じて、指定エリア単位にアライメントを行い、データ補正を行うことで業界唯一の合わせ精度を実現します。本装置は、ソルダーレジスト用ダイレクト装置に要求される量産性、解像性、データ補正の３要素を満足し、従来装置が抱えている「ソルダーレジスト波長特性への不適合（生産性と解像性に影響）」、「高感度ソルダーレジストにのみ対応（材料コストに影響）」、「長方形状のみでのデータ補正（不規則に変形した基板へのデータ補正困難）」などの課題を一掃します。また、一般露光装置が抱えている「複数のフォトマスクの制作工数・段取り替え工数」、「フォトマスクでの合わせに起因する歩留まり低下と諸問題」も解決することができます。さらに、ソルダーレジスト特有のクリーン対策、タッキング対策、反り矯正対策などのノウハウを凝縮し、諸問題を解消しかつ量産が可能な全自動システムです。
当社はこの「Di IMPACT SR」の発売により、電子回路パターンからソルダーレジストパターンまでを一貫してダイレクト露光する装置のラインナップを実現しました。そして国内並びに海外での販売を幅広く展開し、さらに多種多様な市場ニーズにお応えしてまいります。
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- □ 汎用ソルダーレジストに対応
- ソルダーレジストの波長特性に適合した新開発の専用ランプを搭載し、汎用ソルダーレジストの露光に対応しました。高感度やドライフィルム型を含め、あらゆるタイプのソルダーレジストに対応します。
- □ １４４０枚／日の量産（510x406mm）
- 専用ランプと、独自の描画エンジン、二次元表示素子を用いた光学系の統合により、汎用のソルダーレジストを使用して１日当り１４４０枚の量産が可能です。もちろん、マスクレス・ダイレクト露光方式によりフォトマスクと、その段取り換え工数は不要です。
- □ D-A-Tアルゴリズム
- ソルダーレジスト塗布基板の不規則な変形に追随して、リアルタイムにデータ補正する新開発D-A-Tアルゴリズムを搭載。顧客の要求仕様の難度化による回路パターンとソルダーレジストパターンの合わせにも高精度で対応します。また、分割アライメントにおいて、個々のエリア単位に図形補正し、一括露光することが可能で、パッケージ基板等、より高難度な合わせ精度が要求される基板にも対応します。
- □ 全自動ダイレクト露光装置
- 永年培ってきた「ソルダーレジスト露光の装置ノウハウ」を結集、自動搬送装置も標準装備して、全自動ダイレクト露光を実現できます。自動化によるマスクレス、マスクの段取りレスでの無人化、およびソルダーレジスト特有クリーン対策等を施した装置化により歩留まり向上が実現できます。
- □ 各種標準データフォーマットに対応した自動描画機能
- 独自のデータ編集システムであるCAMstation FX等、各種標準データフォーマットに対応しており、既存のデータ環境にも適合します。ダイレクト露光装置との統合により、入力データの変換から描画までオンデマンド・プリンターのように自動運用することができます。
- □ 装置ラインナップ
- 両面自動露光モデルと片面自動露光モデルをラインアップしました。用途に応じて構成可能です。
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