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Contents
放電ランプ/光源ユニット
UV-LED/光源ユニット
福祉医療衛生機器
UV照射装置
UV計測器
紫外線照度計・光量計UV-M03A
紫外線光量計UV-M10-P/Sシリーズ
紫外線光量計UV-351シリーズ
172nmエキシマUVランプ用照度計UV-M06
紫外線光量・照度計UV-M08
ダイレクト露光装置
半導体用露光装置
PPS Series
コンタクト露光装置
ホーム製品情報 | UV計測器

UV計測器

紫外線ランプのメーカが紫外線照射量・露光量等の管理用に用意した測定器シリーズです。
紫外線照度計・光量計UV-M03A
紫外線照度計・光量計UV-M03A

小型・軽量な、ハンディタイプ計測器です。紫外線ランプを搭載した装置を製造現場で管理する目的に適しています。紫外線ランプのUV照射量(照度・光量)管理にご使用ください。
紫外線光量計UV-M10-P/Sシリーズ
紫外線光量計UV-M10-P/Sシリーズ

紫外線を利用するUV照射装置の光量を管理するための測定器です。制御信号接点出力を備えていますので、UV照射装置等で露光量を制御する目的に使用することができます。
紫外線光量計UV-351シリーズ
紫外線光量計UV-351シリーズ

小型・軽量で、受光部と本体が一体になったハンディタイプの計測器です。UV露光装置とUVコンベヤーのいずれにも対応した露光量の管理専用の測定器です。

172nmエキシマUVランプ用照度計UV-M06
172nmエキシマUVランプ用照度計UV-M06

波長172nmの真空紫外光=エキシマ光の測定に適した専用受光素子を用いています。NIST標準によって校正されています。
紫外線光量・照度計UV-M08
紫外線光量・照度計UV-M08

小型で軽量・薄型ボディーのハンディータイプの紫外線計測器です。光量と照度の測定を同時に行い記憶する光量・照度計です。オプションとして、記憶したデータをPCに転送することができます。また、ワイヤレス受光器を使えば本体と無線で接続できます。露光装置に、UVコンベアーに、そしてUV照射装置の紫外線管理に最適です。
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