ホーム
｜
用語集
｜ 光励起プロセス
光励起プロセス
紫外から真空紫外領域の光エネルギーによって誘起される光化学反応を介した低温プロセス。光CVD、 光エピ、光エッチング、光ドーピング、光クリーニングなどが挙げられる。
戻 る
