放電ランプ

  • ショートアークUVランプ

    高効率で紫外線を放射する点光源として、露光、乾燥、その他あらゆる産業、研究分野で利用されています。

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  • 高圧UVランプ

    主に広い面積のUV硬化、表面処理に利用されいます。

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  • メタルハライドUVランプ

    液状レジストの露光や、UVインキの硬化、写真製版に使用され、広い面積の硬化に特に有効です。

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  • 低圧UVランプ

    光クリーニング、フォトレジストのアッシングやハードニング、光CVDなど表面洗浄、改質の分野で利用されます。

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  • エキシマUVランプ

    高周波電圧を印加して、放電管内の放電ガス特有のスペクトルを発光するランプです。表面の高速な改質、洗浄が可能です。

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  • スマートエキシマUVランプ

    水銀を使用しない環境に優しい紫外線ランプです。ご家庭や医療・介護現場など様々な用途に採用頂けます。

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  • 蛍光エキシマUVランプ(PEx-Lamp)

    エキシマランプの内表面にUV蛍光体を塗布した水銀を全く使用しない環境に優しい紫外線蛍光ランプです。

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オゾン発生器