先端パッケージ用ダイレクト露光装置の開発完了、製品リリースのお知らせ
2025/08/27
当社は国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)が取り組んでいる
「半導体製造装置の高度化に向けた開発」に関する委託事業をもとに、
「三次元積層関連の革新的な後工程用露光装置の研究開発」を進めてまいりました。
このたび、本事業で開発した技術を活用し、高解像・高精度なダイレクト露光装置「SDiシリーズ」
を製品化しましたのでリリースするとともに受注を開始いたします。
本装置はフォトマスクを使用せず、半導体基板に回路パターンを直接焼き付ける
ダイレクト露光装置であり、当社独自の技術を進化・拡張して開発しました。
とりわけAI半導体を実装する先端パッケージの量産に最適な装置として、
その製造基盤の強化に貢献してまいります。
プレスリリースはこちら:オーク製作所が高解像・高精度なダイレクト露光装置
夏季休業のお知らせ
2025/07/28
暑中お見舞い申し上げます。
弊社では、誠に勝手ながら、夏季休業を以下の期間とさせて頂きますのでご案内申し上げます。
休業期間中は何かとご迷惑をお掛けすることと存じますが、何卒よろしくお願い申し上げます。
夏季休業期間 2025年8月09日(土) ~ 8月17日(日)
国内初、UV-C領域の紫外線放射照度計におけるJCSS校正の実現
2025/07/20
当社は国立研究開発法人産業技術総合研究所(茨城県つくば市、以下 産総研)の
技術支援の下、2025年7月20日付で国内初となるUV-C(深紫外線)領域における
JCSS(計量法校正事業者登録制度: Japan Calibration Service System)登録事業者に登録されました。
当社ではこれまで産業向け紫外線放射照度計で培ってきたノウハウと産総研による
技術支援を受けることにより、2023年9月にUV-A領域のJCSS校正を国内で初めて実現、
更に研鑽を重ねることにより、このたびUV-C領域まで拡張することが出来ました。
これにより、わが社は長年の紫外線業界の懸案であったUV-C域の紫外線の放射量管理に
対する課題解決に寄与いたします。

https://www.nite.go.jp/iajapan/jcss/information/info_lab_202507.html

国際MRA対応JCSS認定証 [nite]:
https://www.nite.go.jp/iajapan/jcss/labsearch/pdf/D0351M.pdf

プレスリリースはこちら: 250718 JCSS UV-C.pdf