露光装置関連製品：camstation-fx
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■ 各種データ入力 ■ データ編集
■ データ補正 ■ パネライズ
■ INFORMATION ■ MRC（製造用ルールチェック）
■ MAP（製造用自動補正処理） ■ 輪郭データ編集機能
■ ファイル/ネット照合 ■ 各種データ出力
■ ドリルシミュレーション ■ 寸法計測・出図機能
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