bg lamp-low 01
bg lamp-low 02
title 01

点灯中の内部圧力が100Paを超えない金属蒸気放電ランプです。
光クリーニング、フォトレジストのアッシングやハードニング、光CVDなど表面洗浄、改質の分野で利用されます。

title 01
  • 185nm,254nm紫外線を効率よく放射し、表面処理、改質に有効であり、照射によってダメージが少ないメリットがあります。
  • オゾン発生用ランプ、オゾンフリーランプのどちらもご用意できます。
  • U字型、ストレート型、面照射型の3種形状のものを取り揃えており、また特殊形状にも対応可能です。
  • 発光長最大2500mmまでのものをご用意できます。
 
代表的な
発光スペクトル

Emission spectrum

オゾン発生タイプ(例えば VUV- 040/A2.2Uなど)

gra_lamp-low-VUV

 

オゾンレスタイプ(例えば GLM-956/C-10Uなど)

gra_lamp-low-GLM

 

2021 © ORC MANUFACTURING CO.,LTD.