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小型・軽量な、ハンディタイプ計測器です。紫外線ランプを搭載した装置を製造現場で管理する目的に適しています。 紫外線ランプのUV照射量(照度・光量)管理にご使用ください。紫外線ランプのUV照射量(照度・光量)管理にご使用ください。UV-LED用受光器を用いれば、365 nm UV-LEDの測定に対応できます。

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  • 露光装置の放射照度照度と積算光量の管理が手軽にできる小型・軽量のハンディタイプです。
  • 紫外線照度と光量が手軽に測定できます。
  • 受光器は、ご使用されている(ご使用予定の)光源とレジスト等の感度にあわせてUV-25,35,42用をご選択いただきます。
  • UV-LED用受光器は「JCSS校正」と「トップハット型分光特性」で高精度な測定に対応します。
  • 測定データは、RS-232C通信出力を介して転送できます。
  • アナログ出力も備えています。
 
UV計測器・受光器・
分光感度特性

UV measuring instrument・receiver・spectral sensitivity characteristics

gra_uv-25
gra_uv-35
gra_uv-42
UV計測器・受光器・
分光感度特性

UV measuring instrument・receiver・spectral sensitivity characteristics

校正したのに測定値が一致しない、校正したら結果が変わる等の器差や誤差の原因の多くは「測定器の分光応答度の違 い」と、「光源の発光スペクトルの違い」が複合的に関与することで発生する“異色測光誤差”であると考えられ、一貫性 の無い測定結果は測定器ユーザを困惑させます。
 ベル型分光応答度の測定器はこれまで広く使われてきましたが、波長に対する感度が一定ではなく校正光源とUV-LED の発光スペクトルの違いや、測定器の個体差の影響により大きな異色測光誤差が発生する場合があります。
 トップハット型分光応答度は波長に対する感度がほぼ一定であり、校正光源やUV-LEDの個体差や測定器の個体差の影 響を受け難く異色測光誤差を生じにくい特性です。校正機関と測定環境間での異色測光誤差が生じにくく、高信頼である JCSS校正の結果を反映できます。

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製品仕様

Specification

型式 UV-M03A
受光機(交換式) UV-SD35(UV-SN-35)
測定波長領域 310 ~ 385 nm
測定照度範囲 0.001 ~ 50 mW/c㎡
測定光量範囲 0.001 ~ 19999 mJ/c㎡
合わせ込精度 当社UV標準器に対して±1.5%以内
折り返し精度 ±1.5%以内

 

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