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小型・軽量な、ハンディタイプ計測器です。紫外線ランプを搭載した装置を製造現場で管理する目的に適しています。

紫外線ランプのUV照射量(照度・光量)管理にご使用ください。

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  • 露光装置の照度と光量の管理が手軽にできる小型・軽量のハンディタイプです。
  • 紫外線照度と光量が手軽に測定できます。
  • 受光器は、ご使用されている(ご使用予定の)光源とレジスト等の感度にあわせてUV-25,35,42用をご選択いただきます。
  • 測定データは、RS-232C通信出力を介して転送できます。
  • アナログ出力も備えています。
 
UV計測器・受光器・
分光感度特性

UV measuring instrument・receiver・spectral sensitivity characteristics

gra_uv-25
gra_uv-35
gra_uv-42
製品仕様

Specification

型式 UV-M03A
受光器(交換式) UV-SD35 (UV-SN35)
測定波長領域 310~385nm
測定照度範囲 0.001~50mW/c㎡
測定光量範囲 0.001~19999mJ/c㎡
合わせ込み精度 当社UV標準器に対して±1.5%以内
繰り返し精度 ±1.5%以内

 

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