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| Cost of Ownership 半導体製造に関する設備投資や運営の経済性の評価基準を経営レベルでモデル化したもの。製造装置のライフサイクルコストを装置価格、生産性と信頼性、歩留まりなど考慮してウエーハ良品当りのコストを算出する方法。 【出典】 半導体製造装置用語辞典：社団法人「日本半導体製造装置協会」編集、日刊工業新聞社 発行 |
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| Cost of Ownership 半導体製造に関する設備投資や運営の経済性の評価基準を経営レベルでモデル化したもの。製造装置のライフサイクルコストを装置価格、生産性と信頼性、歩留まりなど考慮してウエーハ良品当りのコストを算出する方法。 【出典】 半導体製造装置用語辞典：社団法人「日本半導体製造装置協会」編集、日刊工業新聞社 発行 |
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