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パーティクル
粒径が非常に小さい粒子で、一般には気体中又は液体中に浮遊したとき、沈降しにくい10μｍ程度以下の粒子。
【出典】
半導体製造装置用語辞典：社団法人「日本半導体製造装置協会」編集、日刊工業新聞社 発行
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