2005年10月19日付け 半導体工業新聞 「FPDインターナショナル特集号」に「大型基板対応周辺露光の技術動向」として当社製「タイトラー付き周辺露光装置EXF-1467-TLE」が紹介されました。 テーマ「第六世代を 睨んだ大型基板対応周辺露光最新技術動向」に沿ったレーザ・タイトラー付き周辺露光装置ＥＸＦ－１４６７－ＴＬＥの特徴と構造を説明しました。
