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展示会出展情報


第16回 ファインテック・ジャパン:2006年4月19日(水)~4月21日(金)     革新的なダイレクト露光装置を開発しました  

JPCA SHOW 2006 : 2006年5月31日~6月2日
2006/05/09

主催:     (社)日本電子回路工業会
開催日:    2006年5月31日(水)~6月2日(金)
会場:     東京ビックサイト
ブースNo.: 東6ホール 6Q ― 07
出展内容:  各種管球製品、紫外線計測器と各種露光装置を展示します。
      jpca2006_white.gif


併催 NPIプレゼンテーション(出展者製品技術セミナー)にて当社の発表もございます。
合わせてご聴講ください。

日時:    6月2日(金) 12:50~13:20
会場:    東展示棟 1F A会場
内容区分: 欧州環境指令と鉛フリーはんだ・実装技術最新動向
テーマ:   《g,h,i 三波長露光対応COF投影露光装置の開発と今後の展開》
発表内容: 反射屈折投影レンズの優れた特性を活かし、g,h,i 線3波長露光時に従来のi線露光に
        匹敵するファインパターン形成が可能な、高スループットCOF露光装置の開発状況を
        ご紹介します。



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