2006/05/09
主催： （社）日本電子回路工業会
開催日： ２００６年５月３１日（水）～６月２日（金）
会場： 東京ビックサイト
ブースＮｏ．： 東６ホール ６Ｑ ― ０７
出展内容： 各種管球製品、紫外線計測器と各種露光装置を展示します。
併催 ＮＰＩプレゼンテーション（出展者製品技術セミナー）にて当社の発表もございます。
合わせてご聴講ください。
日時： ６月２日（金） １２：５０～１３：２０
会場： 東展示棟 １Ｆ Ａ会場
内容区分： 欧州環境指令と鉛フリーはんだ・実装技術最新動向
テーマ： 《ｇ,ｈ,ｉ 三波長露光対応ＣＯＦ投影露光装置の開発と今後の展開》
発表内容： 反射屈折投影レンズの優れた特性を活かし、ｇ,ｈ,ｉ 線３波長露光時に従来のｉ線露光に
匹敵するファインパターン形成が可能な、高スループットＣＯＦ露光装置の開発状況を
ご紹介します。