2013/05/29
開催日 | 平成25年6月5日(水)~6月7日(金) 午前10時~午後5時 |
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会場 | 東京ビックサイト 東3ホール(小間番号3I-04) |
出展製品 | ・PT用新型高速ダイレクト露光装置 ・SR用新型高解像性高速ダイレクト露光装置 ・投影露光装置、コンタクト露光装置 ・紫外線照度光量計「UV-M08」他 ・回路形成用UVショートアークランプ ・UVキュア用メタルハライドランプ ・その他紫外線放電ランプ |
NPIプレゼンテーション「ダイレクト露光機の最新技術動向」 平成25年6月7日(金) 12:10~12:40 東3ホール E会場 |
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