光で産業を支える 株式会社オーク製作所 ホーム
会社情報製品情報研究・技術ニュースリリース採用情報お問合せ

製品情報

Contents
放電ランプ/光源ユニット
UV-LED/光源ユニット
福祉医療衛生機器
UV照射装置
UV計測器
ダイレクト露光装置
FDi-5
Extra12
Extra12RR
EDi-5208/8208
Mms808C/608B
CAM station FX
サポート&サービス
半導体用露光装置
PPS Series
コンタクト露光装置
ホーム製品情報ダイレクト露光装置 | Extra12RR

ダイレクト露光装置(DI機)◆ パターン(フレキシブル基板)用

 Extra12RR ファインFPC・タッチパネル業界待望のフレキシブル基板量産用R to Rモデル

ロールtoロール

Extra12RR
250mmから500mm幅までのロールtoロールに対応。永年培ってきたDIのノウハウを結集し、ワンパス&マスクレスを実現。マスク起因の不良とマスクの段取り・管理がゼロになるため、生産性と歩留まりが大幅に向上します。

  解像性

  L/S=12μmの高解像性※1を実現。次世代FPC基板のファイン水準に応えます。
※1使用するドライフィルム・プロセス条件による

  位置合わせ精度

  高剛性フレームと高性能ステージにより、位置決め精度±6μmを実現。さらに要求精度や目的に合わせたアライメント機能が選択でき、高難度な合わせ精度が要求されるFPCやタッチパネル基板の製造に効果を発揮します。

  自動キャリブレーション

  各種キャリブレーションを自動で行い、装置を安定稼働させます。

  ロールtoロール用オプション

  ■ 600mm以上の長尺基板露光
■ アライメントなしの基板に対応するエッジアライメント
■ 枚葉基板を繋いだロールへの対応
■ 3インチ/6インチコア切り替え

  オプション

 
■ 基板厚み計測機能 ■ D-A-Tアルゴリズム
■ ナンバリング ■ マルチアライメントシステム
■ バーコード描画  

製品に関するお問合せはこちら

ページトップ
お問合せプライバシーポリシーサイトマップサイトポリシー Copyright