ホーム ｜ 製品情報 ｜ 放電ランプ/光源ユニット ｜ 低圧ＵＶランプ 点灯中の内部圧力が100Paを超えない金属蒸気放電ランプです。表面洗浄、改質に有効であり、照射によってダメージが生じないメリットがあります。 ◆ 特　徴 ・  185nm、254nm紫外線を効率よく放射し、光クリーニング、フォトレジストのアッシングやハードニング、光CVDなどに利用されます。また、超純水の製造にも有効です。 ・  オゾン発生用ランプ、オゾンフリーランプのどちらもご用意できます。 ・  U字型、ストレート型、面照射型の3種形状のものを取り揃えており、また特殊形状にも対応可能です。 ・  発光長最大2500mmまでのものをご用意できます。 ◆ 代表的な発光スペクトル