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ホーム製品情報コンタクト露光装置 | EXP-2500

UV照射装置

 EXP-2500 大サイズに対応し、光学系とステージを一新した高生産性・高精度パターン用モデル

生産性

EXP-2500
大サイズ基板(26”×22” )露光が高照度でできるため、優れた生産性を発揮します。※露光有効エリア24”×20”


  露光精度・解像性

  新たに設計した光学系を採用し、解像精度が大幅に向上しました。また、ステージを一新した事により露光精度も向上しました。

  アライメント精度

  従来機(EXP-2050)と比べワークとマスクの位置決め精度が大幅に向上しました。

  ランニングコスト

  高精度・長寿命のランプを用いた1灯式にすることで、ランニングコストを従来品の1/2以下に抑えました。

  クリーン対応

  標準仕様のマスククリーニング機構が、HEPAフィルターとともに異物による製品不良を低減します。オプションで上下流間に中間クリーンローラーを設置できます。

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