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适用于大型板材生产的光刻机 |
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动画
Movie
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制品规格
Specification
| 型式 | PPS-8500 |
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| 板材尺寸 | 510 x 515mm(Max) |
| 解像力 | 2.0 µmL/S(感光材厚2.0 µm) |
| NA（开口数） | 0.16、0.1可变 |
| 缩小比 | 1:1 |
| Field尺寸 | 52mm × 33mm |
| 光刻波长 | ghi-Line gh-line i-line(与菜单连动) |
| 视野尺寸 | 6inch |
| 重复对位精度 | ≦1.0 µm(|Ave|+3σ) |
| 装置尺寸／重量 | （W）3,000×（D）4,800×（H）2,500mm / 11,000kg |
其他机型 |
