bg PPS8500 01
bg PPS8500 02
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大型パネルに特化したステッパ―
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  • 熱処理による高反り基板・再配線表面の歪んだ基板に対応
  • 最適な吸引方法で反りワークを吸着搬送可能
  • マルチポイントフォーカスによる、オートフォーカス機能
  • パネルの伸縮に対応したアライメント機能
  • 分割グローバルアライメント、Shot by Shot(Die by Die)アライメント、レチクルによるスケーリング機能搭載
 
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製品仕様

Specification

型式 PPS-8500
パネルサイズ 510 x 515mm(Max)
解像力 2.0 µmL/S(2.0µm レジスト厚)
NA(開口数) 0.16、0.1可変
縮小比 1:1
Fieldサイズ 52mm × 33mm
露光波長 ghi-Line gh-line i-line(レシピ連動)
レチクルサイズ 6inch
重ね合せ精度 ≦1.0 µm(|Ave|+3σ)
装置サイズ/重量 (W)3,000×(D)4,800×(H)2,500mm / 11,000kg

 

ラインナップ

 

製品のスペック比較はカタログにて

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