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大型パネルに特化したステッパ― |
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製品仕様
Specification
| 型式 | PPS-8500 |
|---|---|
| パネルサイズ | 510 x 515mm(Max) |
| 解像力 | 2.0 µmL/S(2.0µm レジスト厚) |
| NA（開口数） | 0.16、0.1可変 |
| 縮小比 | 1:1 |
| Fieldサイズ | 52mm × 33mm |
| 露光波長 | ghi-Line gh-line i-line(レシピ連動) |
| レチクルサイズ | 6inch |
| 重ね合せ精度 | ≦1.0 µm(|Ave|+3σ) |
| 装置サイズ／重量 | （W）3,000×（D）4,800×（H）2,500mm / 11,000kg |
ラインナップ |
