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多様なアプリケーションに対応WL-CSP,IGBT,CIS等のリソグラフィ6/8/12インチ対応。 |
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製品仕様
Specification
| 型式 | PPS-8200p1/8300p1 |
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| ウェーハサイズ | 6/8/12インチ |
| 解像力 | 2.0 µmL/S(2.0 µm レジスト厚) |
| NA（開口数） | 0.16、0.1可変 |
| 縮小比 | 1:1 |
| Fieldサイズ | 52mm × 33mm |
| 露光波長 | ghi-Line gh-line i-line(レシピ連動) |
| レチクルサイズ | 6inch |
| 重ね合せ精度 | ≦0.5 µm(|Ave|+3σ) |
| 装置サイズ／重量 | （W）2,260×（D）3,460×（H）2,500mm / 5,500kg |
| 主要オプション | バックサイドアライメントシステム ウェーハ周辺露光システム ウェーハ周辺非露光システム 薄ウェーハ搬送システム GEM通信対応 インライン対応 |
ラインナップ |
