bg_PPS8300-01
head PPS8300 02
title 01
多様なアプリケーションに対応

WL-CSP,IGBT,CIS等のリソグラフィ6/8/12インチ対応。

content1
title 01
  • ブロードバンド露光 (レシピに連動した自動切換 ghi線 gh線, i線)
  • 可変NA機能搭載 (0.16と0.1の可変)
  • 最大8フィールドのレチクルデザインフォーマット
  • レジストアウトガスと周辺環境のケミカルからプロテクトされた光学系
 
動画

Movie

製品の関連動画を再生

movie-pps
製品仕様

Specification

型式 PPS-8200/8300
ウェーハサイズ 6/8/12インチ
解像力 2.0 µmL/S(2.0 µm レジスト厚)
NA(開口数) 0.16、0.1可変
縮小比 1:1
Fieldサイズ 52mm × 33mm
露光波長 ghi-Line gh-line i-line(レシピ連動)
レチクルサイズ 6inch
重ね合せ精度 ≦0.5 µm(|Ave|+3σ)
装置サイズ/重量 (W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg
主要オプション バックサイドアライメントシステム
ウェーハ周辺露光システム
ウェーハ周辺非露光システム
薄ウェーハ搬送システム
GEM通信対応
インライン対応

 

ラインナップ

 

製品のスペック比較はカタログにて

catalog download
 

2021 © ORC MANUFACTURING CO.,LTD.