露光装置:Mmsシリーズ
bg mms-series 02
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  • 각종 기판(HDI 기판, Flexible PCB 등)의 SR 형성/회로 형성
  • 각종 재료의 개발, 시작 등
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  • Broadband 파장에 의해 백색이나 흑색 등 다양한 레지스트에 대응 가능
  • 소량 다품종의 시작품 생산부터, 이후에 반송기를 추가하여 양산까지 폭넓은 요구에 대응
  • 기판 사이즈와 예산에 따른 광학 헤드 구성을 제안 가능
  • 큰 사이즈 지원 모델도 라인업
 
노광 이미지

Exposure image

범용 SR

 

범용 SR(흑)

 

드라이 필름형 SR

 

범용 드라이 필름(고세밀)

 

범용 드라이 필름

 

고감도 드라이 필름

 

제품 사양

Specification

 광원해상성최대 노광 사이즈기판 두께종합 중첩 정도
Mms508D UV Lamp SRO: Φ 40μm (DFR:10μm L/S) 635 x 535 mm 0.04 ~ 2.4 mm 6 μm
Mms808D UV Lamp SRO: Φ 80μm (DFR:30μm L/S) 635 x 535 mm 0.04 ~ 2.4 mm 7 μm
Mms810D UV Lamp SRO: Φ 80μm (DFR:30μm L/S) 813 x 635 mm 0.04 ~ 2.4 mm
 2.4 ~ 8.0 mm(기판 누름 불가)
7 μm

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