オゾン(NoXフリー)による除菌・消臭とUVによる空気清浄で室内をクリーンな状態に保ちます。

エアビーナスミニ有人用
ARV-O3MI

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冷蔵庫・エアコン・洗濯機に使用されているインバータ内部の電力制御用チップの製造に使用されています。


PPS-8200/8300

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FPD(フラットパネルディスプレイ)パネル用露光装置に用いられるUV光源

ショートアーク
UVランプ

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ドライバIC実装COF(チップ・オン・フレキ)の製造に。

ゲーム機にも用いられる画像処理ICなどのパッケージ基板の製造に。