bg vum-3500 01
bg vum-3500 02
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フラッシュメモリやその他の不揮発性メモリ、イメージセンサなどのチャージ除去、データ消去。

 

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  • 電荷除去に最適な254nm波長を採用。
  • 単一波長のため低温処理が可能。
  • 低入射角UV光で対象エリアに有効に照射。
  • LSIの歩留まり向上・信頼性向上を実現。
 
製品仕様

Specification

型式 VUM-3500
ウエハサイズ Φ300 mm(標準)
同時処理枚数 15 枚
カセット形態 FOUP
ウエハ搬送 自動搬送
ランプ灯数 20 本
照度測定 自動測定

 

製品のスペック比較はカタログにて

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