플래시 메모리 및 기타 불휘발성 메모리 이미지 센서 등의 차지 제거, 데이터 소거.

• 전하 제거에 최적인 254nm 파장을 채용.
• 단일 파장으로 저온 처리 가능.
• 저입사각 UV빛으로 대상 지역에 유효하게 조사.
• LSI의 수율 향상 · 신뢰성 향상을 실현.