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高精度パターン用

 

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LED光源タイプ新登場

平行光のUV-LED 光源タイプを新たにラインナップ。省エネに貢献。

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大サイズワーク対応

高照度ランプ

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位置決め精度向上
      • 従来機(EXP-2050) と比較して、ワークとマスクの位置決め精度が大幅に向上しました。
クリーン対応
      • マスククリーニング機構が標準仕様となっており、ヘパフィルターと併せて異物による製品不良を削減します。また、上下流間に中間クリーンローラーも設置可能です。(オプション)
ランニングコスト削減
      • ランプ1 灯式で高照度、長寿命ランプを採用している為、ランニングコストが従来機と比較すると1/2 以下と大幅に削減可能となりました。
大サイズ基板対応(Eタイプ)
      • 業界ニーズに応え、最大28.5" x 24.5” までの大サイズ基板対応タイプをリリースしました。
LED 光源
    • 新たにLED 光源(平行光光学系)タイプをラインナップに加えました。更なる省エネルギーに貢献致します。
 
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製品仕様

Specification

型式 EXP-2500 EXP-2500-LED EXP-2500E EXP-2500E-LED
基板サイズ (G)25" x 21" ~ 13" x 11.8"
(W)26" x 22" ~ 13" x 11.8"
28.5" x 24.5" ~ 15.7" x 13"
基板厚さ 0.04 mm ~ 2.4 mm (オプション: ~ 3.2mm)
位置精度 ±3 μm(繰り返し精度)
サイクルタイム 9.5 秒(真空待ち時間2 秒含む)+露光時間 10.5 秒(真空待ち時間2 秒含む)+露光時間
光源 ショートアークUVランプ 5kW x1 UV-LED ユニット x2 ショートアークUVランプ 5kW x1 UV-LED ユニット x2
照度分布 (G)620 x 520 mm : 90% 710 x 610 mm
(W)650 x 550 mm : 85% 90% 85%
初期照度(最大) 30 mW/c㎡ 27 mW/c㎡
露光方式 真空密着方式
搬送方法 端面吸着パッド方式搬送
温湿調機 標準装備
内蔵クリーンローラー 自動マスク/ ステージクリーニング機構 標準装備
装置外形寸法(本体) 5014(W) × 2530(D) × 2400(H) mm 5494(W) × 2665(D) × 2440(H) mm
  オプション対応
反転後クリーニング 専用中間クリーンローラー( 反転部)
搬送方法 ブロワー+吸着板
マスクタイプ ガラスマスク対応
カメラ照明 反射照明

 

製品のスペック比較はカタログにて

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