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電子回路基板の内層パターン形成
ケミカルミーリング(エッチング加工パターン形成)
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LED光源タイプ新登場

平行光のUV-LED 光源タイプを新たにラインナップ。省エネに貢献。

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9.5秒+露光時間(真空密着時間2秒含む)

「5枚/分」の生産性を実現した高照度ランプユニット

万全なクリーン対策で歩留り改善

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生産性向上
  • 従来機に比べ1/2 の時間で段取りが可能
  • 当社独自の密着方式により、スペーサレスの露光も実現
精度の安定化
  • 露光枠の剛性向上
  • 温湿度コントローラユニットを標準装備
  • 平行光光源の性能向上
光源バリエーション
  • ご使用用途により、光源を選択可能
  • パターン用:5kW ショートアークUVランプ平行光、LED 光源平行光
  • 液状レジスト用:7kW 散乱光
充実したオプション
  • カメラ移動機構(反射光照明)
  • 上下マスククリーンローラ
  • ショートアーク平行光光源時は、ダブルラインレイアウトにも対応可
 
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製品仕様

Specification

型式 EXP-2900P EXP-2900P-LED EXP-2900S EXP-2900PE
基板サイズ 26"x22 ~ 13"x11.8" 24.5"x28.5" ~ 13.5"x16"
基板厚さ 0.04 mm ~ 2.4 mm 0.04 mm ~ 2.0 mm
位置精度 ±5 μm(繰り返し精度)
サイクルタイム 9.5 秒(真空待ち時間2 秒含む)+ 露光時間 11.0 秒 (真空待ち時間2秒含む) + 露光時間
光学系 平行光 散乱光 平行光
光源 ショートアークUVランプ 5kW x2 UV-LED ユニット x2 メタルハライドUVランプ7kWx2 ショートアークUVランプ 5kW x2
照度分布 610 x 510 mm : 90%
660 x 560 mm : 85%
660 x 560 mm : 85% 610 x 710 mm : 85%
初期照度(最大) 30 mW/c㎡ 40m W/c㎡ 25 mW/c㎡
露光方式 真空密着方式
搬送方法 端面吸着パッド方式搬送
露光室冷却機構 温湿調ユニット 冷凍機ラジエター 温湿調ユニット
装置外形寸法(本体) 2620(W) × 2825(D) × 2365(H) mm 2620(W) × 2485(D) × 2365(H) mm 2620(W) × 2824(D) × 2365(H) mm 3200(W) × 2777(D) × 2365(H) mm
  オプション対応
自動マスククリーニング機構 内蔵クリーンローラー
カメラ移動機構 任意位置アライメントマーク対応
マスクタイプ ガラスマスク対応
低ランニングコスト(2 ラインの場合) ダブルラインレイアウト(P,PEのみ)

 

製品のスペック比較はカタログにて

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