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高精度ソルダーレジスト用

 

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ワークサイズ(標準または大判)

光源タイプ(散乱光または平行光)

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位置決め精度向上
    • 従来機(EXP-2001B) と比較して、ワークとマスクの位置決め精度が大幅に向上しました。
高出力ランプ採用
    • 新規開発の高出力ランプを使用する事により、露光時間の大幅な短縮が可能になりました。
段取りの簡略化
    • 焼枠ガラスの軽量化、段取り情報のレシピ化など、弊社最新機種と同じ機構を採用することにより、段取り時間の短縮を実現しました。
大サイズ基板対応(Eタイプ)
    • 業界ニーズに応え、最大28.5” x 24.5” までの大サイズ基板対応タイプをリリースしました。
平行光光源タイプ
  • 高精細化に応えるため、平行光光源タイプをリリース。
    高照度ショートアークUVランプを採用し、生産性も向上します。
 
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製品仕様

Specification

型式 EXP-2700S EXP-2700P EXP-2700E EXP-2700PE
基板サイズ (G)25"x21" ~ 13"x11.8"
(W)26"x22" ~ 13"x11.8"
28.5"x24.5" ~ 15.7"x13"
基板厚さ 0.04mm ~ 2.4mm (オプション: ~ 3.2mm)
位置精度 ± 3μm(繰り返し精度)
サイクルタイム 9.5秒(真空待ち時間2秒含む)+露光時間 10.5秒(真空待ち時間2秒含む)+露光時間
光学系 散乱光 平行光 散乱光 平行光
光源 メタルハライドUVランプ 12kWx2 ショートアークUVランプ 8kWx2 メタルハライドUVンプ 12kWx2 ショートアークUVランプ 10kWx2
照度分布 (G) 620 x 520mm : 85% (G) 610 x 510mm : 94% 710 × 610mm
(W) 645 x 545mm : 80% (W) 620 x 520mm : 94% 85% 90%
初期照度(最大) 105 mW/c㎡ (G) 80 mW/c㎡
(W) 65 mW/c㎡
95 mW/c㎡ 76 mW/c㎡
露光方式 真空密着方式
搬送方法 ブロワー+吸着板
温湿調機 標準装備
装置外形寸法(本体) 4704(W) × 2235(D) × 2231(H)mm 4704(W) × 2745(D) × 2495(H)mm 5184(W) × 2370(D) × 2231(H)mm 5184(W) × 3177(D) × 2495(H)mm
  オプション対応
自動マスク
クリーニング機構
内蔵クリーンローラー
搬送方法 端面吸着パッド方式
マスクタイプ ガラスマスク対応

 

製品のスペック比較はカタログにて

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