2025/08/27

当社は国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）が取り組んでいる
「半導体製造装置の高度化に向けた開発」に関する委託事業をもとに、
「三次元積層関連の革新的な後工程用露光装置の研究開発」を進めてまいりました。

このたび、本事業で開発した技術を活用し、高解像・高精度なダイレクト露光装置「SDiシリーズ」
を製品化しましたのでリリースするとともに受注を開始いたします。

本装置はフォトマスクを使用せず、半導体基板に回路パターンを直接焼き付ける
ダイレクト露光装置であり、当社独自の技術を進化・拡張して開発しました。
とりわけAI半導体を実装する先端パッケージの量産に最適な装置として、
その製造基盤の強化に貢献してまいります。

プレスリリースはこちら：オーク製作所が高解像・高精度なダイレクト露光装置